騰旋半導體行業(yè)專(zhuān)用旋轉接頭

騰旋公司的半導體行業(yè)專(zhuān)用旋轉接頭又叫水/氣滑環(huán)接頭，在半導體工業(yè)、化學(xué)機械拋光機CMP、晶圓等制造領(lǐng)域廣泛應用；用于輸送研磨液、水、冷卻液、研磨殘渣液、壓縮空氣等流體。采用特種材質(zhì)的機械密封方案，具有密封性好、壽命長(cháng)、扭矩低、發(fā)熱量低、耐粉塵殘渣等特點(diǎn)，確?？蛻?hù)主機可靠性高，減少檢修頻次。

兩通路旋轉接頭

型號：ML02R008F

參數：

轉速：250rpm

介質(zhì)：水 ，0.5MPa

扭矩：＜2N·m

溫升：30℃

流量：暫定

8通路旋轉接頭

型號：ML08R003F

參數：轉速：200rpm

介質(zhì)：真空 ，0.5bar

氮氣 ，1.4bar

空氣 ，1.4bar

扭矩：＜3N·m

溫升：30℃

泄漏量：＜1KPa/min